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三甲基硅烷 IOTA 3MS

三甲基硅烷(3MS)

    使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格,阀门为CGA660/CGA350/CGA634,两种规格容器可分别充装3KG和15KG产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。


技术指标

材料级三甲基硅烷

成分/杂质名称

产品指标

三甲基硅烷

≥99.5 %

不凝气杂质(N2, O2+Ar,CO2, CH4)

≤1.0 %

硅烷

≤0.5 %

氯硅烷

≤0.5 %


电子级三甲基硅烷

成分/杂质名称

产品指标

( CH3)3SiH

≥99.99%(不含其他甲基硅烷)

N2

≤10 ppm/v

O2+Ar

≤2ppm/v

CO2

≤5ppm/v

CH4

≤5ppm/v

SiH4

≤5ppm/v

Other Methylsilanes

≤300 ppm/v

Chlorosilanes

≤10 ppm/v




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