高纯甲基三氯硅烷(MTS)
采用316L不锈钢制作,容积有45L、250L、900L三种规格,1/2”、1/4”VCR接口阀门两种规格,容器可分别充装45kg、250kg、1000kg产品; 还可根据用户特殊要求提供不同包装和借口,包含ISO-TANK。
技术指标
成分/杂质名称 |
产品指标 |
纯度 |
≥99.99%(基于金属杂质) |
三甲基一氯硅烷 |
<100ppm |
四氯化硅 |
<100 ppm |
金属杂质总量 |
<10 ppm |