您的位置:   网站首页    公司新闻    扩散泵油在真空镀膜行业场景

扩散泵油在真空镀膜行业场景

阅读量:205 img

扩散泵油在真空镀膜行业场景 1:光学镀膜(增透膜、反射膜)需求:真空度需达 10⁻³~10⁻⁵ Pa,确保镀膜粒子(如 TiO₂、SiO₂)均匀沉积,避免氧化或杂质混入。
油类型:硅油或聚苯醚(热稳定性好,长期高温下不易分解产生碳氢化合物污染膜层)。
场景 2:功能性镀膜(半导体封装镀层、汽车玻璃隔热膜)
需求:兼顾高真空与连续生产,要求油抗污染能力强、使用寿命长。
油类型:全氟聚醚(PFPE)(耐化学腐蚀,适合含金属蒸气的环境)。
3. 科学研究与高端仪器
场景 1:表面分析仪器(XPS、SEM、TEM)
需求:真空度需达 10⁻⁶~10⁻¹⁰ Pa,避免油蒸气干扰样品表面信号检测。
油类型:超高真空硅油(如经分子蒸馏的 DC-705)或聚苯醚(低挥发性,适合长时间稳定运行)。
场景 2:核聚变装置(托卡马克)
需求:极严苛真空环境(<10⁻⁸ Pa),油需耐受高能粒子轰击和极端温度。
油类型:全氟聚醚(化学惰性极强,不与等离子体反应)。


为您推荐

    在线QQ咨询,点这里

    QQ咨询

    微信服务号