在氧气或水的环境中，PHPS可以通过高温处理或光照实现为氧化硅涂层的转化，无论是否存在催化剂。许多研究者探讨了PHPS在不同条件下形成涂层的机理，包括在高温下PHPS向氧化硅转化的化学反应和相变。图示展现了PHPS转化过程中的相分离现象，展示了从PHPS相到氧化硅相的转变，具体包括PHPS的连续相和海岛结构，以及氧化硅的海岛结构。化学反应图解明了转化过程中的水解、缩合和氧化反应。研究发现，当转化温度低于180°C时，主要发生Si-H和Si-N的水解缩合反应，转化不充分，形成氧化硅为分散相的结构，此时的折光率较高，但模量和硬度较低。在180°C到300°C的温度范围内，转化主要是Si-H和Si-N的氧化反应，氧化硅相逐渐增长，形成双连续相结构，并且在超过200°C时，氧化硅相变为主导，从而显著提高了材料的力学性能。在300°C到600°C的温度范围内，氧化硅的网络结构基本形成，并在高温下进一步致密化。