在性能方面，氟硅油具有优异的耐化学、耐油、耐溶剂性和抗氧化性，还具有低表面张力和低折光率等特点。氟硅油在基材表面可通过化学吸附形成外层化学组成为 - CF3、具有很高疏水疏油性的分子组装膜，能大大降低基片的摩擦系数，使其在低负荷下具有良好的耐磨性。