三氟丙基硅油用作润滑脂基础油时，可显著改善钢与钢边界之间的润滑性；对于钟表工业和微机械工业，由于此类化合物的表面能最低可达20mN/m ，可降低表面摩擦系数，同样可用作高级润滑剂。由氟硅油、全氟聚醚、聚苯醚等配制的润滑剂用于唱片驱动机、激光打印机和其他电子机械的润滑，能持续耐121℃以上高温且在每分钟1.4百万高转速条件下不分解，并使被润滑物具有可靠的性能。